半導体ウェハ加工

PDMSシリーズの気静圧精密スピンドルは、通常の潤滑油の1/1000の粘度しか持たない気体の特性を活かし、気圧流路の構造設計と組み合わせることで、スピンドル内部に剛性のある気圧軸受を形成します。その環境に優しい特性、高速性、スマート化により、半導体ウェハの切断、薄化、研磨などの加工条件を満たすため、半導体製造プロセス用部品の国産化に最適な選択肢となっています。